• 可在高真空、低真空（130Pa)、环境真空(4000Pa)下观察导电和不导电样品，对材料的表面和横截面的微观形貌、成分进行分析，广泛应用于金属材料、高分子材料、半导体材料、纳米材料等领域；
• 配备的Apollo40 SDD能谱无需液氮制冷，可进行快速的点、线、面分布分析，获得能谱的mapping图谱；
• 其样品室直径达284 mm，对于直径达四英寸硅片可以直接进行测试，无需对样品进行分割处理；
• 附件MonoCL3+阴极荧光谱仪不仅可以测量材料微区在电子束激发下的发光光谱，而且可以进行成像 显示，从而可以对样品的禁带宽度、杂质缺陷等进行表征，获取更为丰富的信息；• 可以测量材料的电子束感生电流（EBIC）,从而获得材料内部结构缺陷等信息，与阴极荧光测量互为补充。

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