1、普通IV 测量 (0.1fA~100 mA; 1μV~200 V, 5 SMUs )
—电压测量范围为1mV-200V，电压测量最小分辨率为1mV
—电流测量范围为0.1fA-100mA（高功率可到1A），电流测量最小量程为1Pa
—在最小量程上的电流测量最小分辨率为0.1fA，精度10fA
—该SMU的最小脉冲工作时间为5ms；
—额定功率：2W（中功率SMU）；20W（高功率SMU）。
2、普通CV测量 (From 20 Hz to 2 MHz)
—扫描电压范围0~±40V；
—可变频率范围：20Hz—2MHz，频率精度±0.01%；
—测量量程：1fF ~ 100nF
—测量精度：0.1%
—最小电容值测试能力：1fF；
3、脉冲 IV 测量
高速脉冲模式：
—带宽：1Hz—50MHz；
—最小脉宽10ns；最小脉冲周期20ns；
—输出电压幅值：100mVpp—10Vpp（±5V），50Ω时；200mVpp—20Vpp（±
10V），1MΩ时；
—可调节脉冲宽度范围为10 ns—DC；
—可调节上升/下降时间（0-100%）为10ns—1s；
高电压脉冲模式：
—带宽：1Hz—2MHz；
—最小脉宽250ns；最小脉冲周期500ns；
—输出电压幅值：500mVpp—40Vpp（±20V），50Ω时；1Vpp—80Vpp（±
40V），1MΩ时；
—可调节脉冲宽度范围为250ns—DC；
—可调节上升/下降时间（0-100%）为150ns—1s；