– 表面形貌、成分分辨
    •   具备接触、轻敲等多种模式成形貌像，XY分辨率0.25nm，Z噪声<0.05nm
    •   摩擦力图像、定量相位图像
– 表面局域电场力、磁场力和表面电势：
    •   电场力、磁场力图像
    •   表面电势可分辨表面两点电势差绝对值，分辨率10mV
– 载流子浓度、氧化层缺陷、局域导电性
    •   扫描电容模块(SCM)可测量dc/dV曲线，表征表面局域载流子浓度、氧化层缺陷等
    •   导电原子力(CAFM) 可测量I/V曲线，表征表面局域导电性。偏压范围1mV-12V，电流范围10nA-1uA
    •   扫描扩展电阻(SSRM)可测量表面电阻分布，表征局域导电性和载流子浓度等。偏压范围1mV-12V，电流范围10pA-1mA
– 纳米加工
    •    可编程控制针尖动作和测量过程，对表面进行纳米操纵、刻蚀等