中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所-测试分析平台
电子显微镜实验室
扫描探针显微镜实验室
结构分析实验室
光电性能分析实验室
计算中心
地址:苏州工业园区独墅湖高教区若水路398号(区号:0512 邮编:215125)
电子显微镜实验室: 扫描电镜(62872632)透射电镜(62872633)
光电实验室:62872594 2593
扫描探针实验室:62872550
结构分析实验室:62872551
计算中心:62872616
探针台  
 
仪器名称: 探针台
型         号: PM8
生产厂家: SUSS

主要配置:

— 8寸手动分析探针基台
— 具有无霜,光屏蔽,电磁干扰屏蔽系统
— MITUTOYO显微镜系统,
— 带Guard的载物台
— VIT800防震台
— 各种测试设备接口

性能指标:

— 载物定位台移动范围200 mm x200mm
— THETA-Z手动载物台升降闸10mm,THETA-精调范围: ±9°
— MITUTOYO显微镜:2个目镜: 10x;物镜: 2x, 10x, 20x
— 定位器移动范围: X,Y: 12.5mm, Z: 10mm
— Tip漏电流<1fA
— Chuck漏电流<20fA

主要用途:

—  小信号测试
—  微波测试
 
联系人:周桃飞
联系电话:0512-62872594
E-mail: tfzhou2007@sinano.ac.cn
 
 
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所(筹) 中国科学院 中华人民共和国科学技术部 中国科学院半导体研究所 中国科学院青年联合会 苏州独墅湖高等教育区
版权所有:中国科学院苏州纳米所测试分析平台  地址:苏州工业园区独墅湖高教区若水路398号