 |
地址：苏州工业园区独墅湖高教区若水路398号（区号：0512 邮编：215125）
电子显微镜实验室：
扫描电镜（62872632）透射电镜（62872633)
光电实验室：62872594 2593
扫描探针实验室：62872550
结构分析实验室：62872551
计算中心：62872616
|
|
 |
|
|
| |
| 仪器名称： |
溅射镀膜仪 |
 |
| 型 号： |
K550X |
| 生产厂家： |
英国QUORUM |
主要配置： |
• 全自动溅射镀膜仪主机
• 蒸碳附件 |
性能指标： |
• 样品台可旋转、倾斜，直径为50毫米
• 低电压冷溅射，无需冷却水
• 真空范围：ATM-10-2mbar
• 靶材：金靶
• 溅射电流： 0-50毫安
• 溅射定时： 0- 4 分钟
• 沉积速率：0-25纳米/分钟
• 工作腔室尺寸165毫米 (直径) × 125毫米(高) |
|
主要用途： |
| 对不导电样品进行喷金、喷碳，从而进行扫描电镜的观察 |
|
| |
|
