中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所-测试分析平台
电子显微镜实验室
扫描探针显微镜实验室
结构分析实验室
光电性能分析实验室
计算中心
地址:苏州工业园区独墅湖高教区若水路398号(区号:0512 邮编:215125)
电子显微镜实验室: 扫描电镜(62872632)透射电镜(62872633)
光电实验室:62872594 2593
扫描探针实验室:62872550
结构分析实验室:62872551
计算中心:62872616
凹坑仪  
 
仪器名称: 凹坑仪
型         号: 656
生产厂家: 美国Gatan

主要配置:

— 直径为15mm的研磨轮
— 直径为15mm的抛光轮

性能指标:

— 可装载样品厚度: 40um~220um
— 造坑最小到达尺寸:<3um
— 工具力范围:0-40g
— 工具转速: 6~60 rpm
— 样品转速:5rpm
— 自动终止:可按残留厚度和研磨厚度两种模式

主要用途:


— 通过研磨轮和抛光轮的研磨抛光,在样品中间部位获得厚度小于5μm的薄区

— 主要应用于半导体、陶瓷和地质等脆性材料。

 
 
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