中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所-测试分析平台
电子显微镜实验室
扫描探针显微镜实验室
结构分析实验室
光电性能分析实验室
计算中心
地址:苏州工业园区独墅湖高教区若水路398号(区号:0512 邮编:215125)
电子显微镜实验室: 扫描电镜(62872632)透射电镜(62872633)
光电实验室:62872594 2593
扫描探针实验室:62872550
结构分析实验室:62872551
计算中心:62872616
等离子清洗机  
 
仪器名称: 等离子清洗机
型         号: 950.M
生产厂家: 美国Gatan

主要配置:

— 透射电镜样品杆接口
— 扫描电镜样品载台

性能指标:

— 泵体部分是由多级隔膜泵和超静音分子泵组成
— 基础真空:5E–6Torr (6.6E–4Pa)
— 真空:400 mTorr (0.05Pa)
— 可选的H2/O2和Ar/O2组分对样品进行清洗
— 精确控制气体流量

主要用途:

对TEM和SEM的样品和样品杆进行清洗,去除表面的污染,从而观察时获得更好的分辨率
 
 
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