中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所-测试分析平台
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结构分析实验室
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电子显微镜实验室： 扫描电镜（62872632）透射电镜（62872633)
光电实验室：62872594 2593
扫描探针实验室：62872550
结构分析实验室：62872551
计算中心：62872616
纳米压痕仪  
 
仪器名称： 纳米压痕仪
型         号： Nano Indenter G200
生产厂家： 美国Agilent公司

主要配置：
Standard Indentation head assembly
DCM head assembly （DCM组元）
Lateral Force Measurement （水平力测量组元）
Nano VisionTM Nanomechanical Microscope Option（纳米观察纳米力学显微镜〕
Continuous Stiffness Measurement (CSM)（连续刚度测量组元：CSM技术）
压针类型
1. Berkovich diamond tip, tip radius 20 nm
2. Cube Corner diamond tip，tip radius 20nm
3.Conical Diamond Tip, 90 degree angle, 5 micron radius
4.Diamond Wedge Tip R<200nm 45 Degree 50microns

Continuous Stiffness Measurement (CSM)（连续刚度测量组元：CSM技术）
压针类型
1. Berkovich diamond tip, tip radius 20 nm
2. Cube Corner diamond tip，tip radius 20nm
3.Conical Diamond Tip, 90 degree angle, 5 micron radius
4.Diamond Wedge Tip R<200nm 45 Degree 50microns

性能指标：
Standard Indentation head assembly
Total indenter travel：1.5mm
Maximum indentation depth：500m
Maximum load (standard)：500mN
Maximum load with high load option：10N
Load resolution：50nN
Load frame stiffness：5x106 N/m
Useable sample area：100x100mm
DCM head assembly （DCM组元）
Maximum indentation depth：> 15 m
Typical resonance frequency：180Hz
Maximum load：10mN
Load resolution：1nN
Load frame stiffness：3x105 N/m
Nano VisionTM Nanomechanical Microscope Option（纳米观察纳米力学显微镜〕
X & Y scan range：100x100m
Z scan range (for XP head)：500m
Continuous Stiffness Measurement (CSM)（连续刚度测量组元：CSM技术）
Oscillation force frequency：1 to 300 Hz
Oscillation force amplitude：0.1 uN to 4.5 mN

主要用途：
纳米压痕仪利用纳米级尺寸的金刚石压针对样品表面进行压入或划入，通过连续记录加载和卸载过程中载荷与位移的变化，获得硬度、模量等力学性质。
1. 纳米压痕可以测量硬度、模量、断裂韧度、应力-应变曲线、蠕变特性、疲劳特性等力学性能。
2. 纳米划痕可以获得薄膜的临界附着力和摩擦系数等。
3.NANOVision模式可进行微纳米级扫图、选区压痕测试。
 
联系人：陈科蓓
电话：62872550
E-mail: kbchen2016@sinano.ac.cn
地点：E208 扫描探针实验室
 
 
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