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地址:苏州工业园区独墅湖高教区若水路398号(区号:0512 邮编:215125)
电子显微镜实验室:
扫描电镜(62872632)透射电镜(62872633)
光电实验室:62872594 2593
扫描探针实验室:62872550
结构分析实验室:62872551
计算中心:62872616
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仪器名称: |
冷场发射扫描电子显微镜 |
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型 号: |
S4800 |
生产厂家: |
日本Hitachi |
主要配置: |
电子束减速装置 |
性能指标: |
1、二次电子图像分辨率 ≤1.0nm保证(加速电压15kV WD = 4mm) ≤2.0nm 保证(加速电压1kV WD = 1.5mm,普通模式) ≤1.4nm 保证(照射电压1kV,WD = 1.5mm,使用减速装置) 放大倍率:20~800,000× 2、样品台 S-4800型 X 0-50 mm Y 0-50 mm Z 1.5-30 mm T -5°~ + 70° R 360° 最大样品尺寸(直径) 100mm 样品台控制 五轴马达驱动
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主要用途: |
该设备主要用于各种样品的高分辨表面形貌成像观察,点分辨率可达1 nm。同时该设备由于发射束流低并配备了减速装置,因此可以较大程度上减少样品在电子束轰击下的充电效应,适合于一些不导电样品和在电子束辐照下异损坏样品(有机、高分子、生物样品等)的表面高分辨成像。
联系人:
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