中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所-测试分析平台
电子显微镜实验室
扫描探针显微镜实验室
结构分析实验室
光电性能分析实验室
计算中心
地址:苏州工业园区独墅湖高教区若水路398号(区号:0512 邮编:215125)
电子显微镜实验室: 扫描电镜(62872632)透射电镜(62872633)
光电实验室:62872594 2593
扫描探针实验室:62872550
结构分析实验室:62872551
计算中心:62872616
冷场发射扫描电子显微镜  
 
仪器名称: 冷场发射扫描电子显微镜
型         号: S4800
生产厂家: 日本Hitachi

主要配置:

电子束减速装置

性能指标:

1、二次电子图像分辨率
≤1.0nm保证(加速电压15kV WD = 4mm)
≤2.0nm 保证(加速电压1kV WD = 1.5mm,普通模式)
≤1.4nm 保证(照射电压1kV,WD = 1.5mm,使用减速装置)
放大倍率:20~800,000×
2、样品台
S-4800型
X 0-50 mm
Y 0-50 mm
Z 1.5-30 mm
T -5°~ + 70°
R 360°
最大样品尺寸(直径) 100mm
样品台控制 五轴马达驱动

主要用途:

该设备主要用于各种样品的高分辨表面形貌成像观察,点分辨率可达1 nm。同时该设备由于发射束流低并配备了减速装置,因此可以较大程度上减少样品在电子束轰击下的充电效应,适合于一些不导电样品和在电子束辐照下异损坏样品(有机、高分子、生物样品等)的表面高分辨成像。
 
联系人:
黄凯:  0512-62872632, khuang2006@sinano.ac.cn
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