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地址：苏州工业园区独墅湖高教区若水路398号（区号：0512 邮编：215125）
电子显微镜实验室：
扫描电镜（62872632）透射电镜（62872633)
光电实验室：62872594 2593
扫描探针实验室：62872550
结构分析实验室：62872551
计算中心：62872616
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| 仪器名称： |
非接触式方块电阻测试仪 |
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| 型 号： |
LEI-1510EC |
| 生产厂家： |
LEI |
主要配置： |
无需做电极，直接测量衬底方块电阻。
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性能指标： |
可测量衬底尺寸：2、3、4、5、6、8寸。可测量衬底厚度≤0.8mm。可实现整个衬底mapping测试（≤300点）。
量程 测试范围
XL 0.032~1.6Ω/□
LO 0.16~16Ω/□
HI 15~3000Ω/□ |
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主要用途： |
用于半导体材料方块电阻的非接触式测量。
设备负责人：田飞飞
联系电话：0512-62872593 |
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