中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所-测试分析平台
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多功能成像和分析

【发稿时间】:2016/5/31
可以获得表面形貌像、原子序数衬度像、透射像、成分像、阴极荧光像/光谱,电子束诱导感生电流像等多种图像和信号,从而满足不同材料和器件表征的需要多功能成像和分析.
EDS面扫描:  GaAs衬底离子注入Mn形成的MnO颗粒(电子束在样品表面进行光栅式扫描,同时得到形貌像和成分像,从而可见图中球形颗粒为MnO)
 
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