中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所-测试分析平台

地址：苏州工业园区独墅湖高教区若水路398号（区号：0512 邮编：215125）
电子显微镜实验室：扫描电镜（62872632）透射电镜（62872633)
光电实验室：62872594 2593
扫描探针实验室：62872550
结构分析实验室：62872551
计算中心：62872616

您当前所在的位置：首页》测试案例

多功能成像和分析

【发稿时间】：2016/5/31

可以获得表面形貌像、原子序数衬度像、透射像、成分像、阴极荧光像/光谱，电子束诱导感生电流像等多种图像和信号，从而满足不同材料和器件表征的需要多功能成像和分析.

EDS面扫描: GaAs衬底离子注入Mn形成的MnO颗粒(电子束在样品表面进行光栅式扫描，同时得到形貌像和成分像，从而可见图中球形颗粒为MnO)