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地址:苏州工业园区独墅湖高教区若水路398号(区号:0512 邮编:215125)
电子显微镜实验室:
扫描电镜(62872632)透射电镜(62872633)
光电实验室:62872594 2593
扫描探针实验室:62872550
结构分析实验室:62872551
计算中心:62872616
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半导体材料生长工艺TEM追踪观察 |
【发稿时间】:2016/5/31 |
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客户利用“沟槽工艺”在Si上选择性外延生长了Ge, 通过多个TEM截面样品的追踪观察,揭示了不同工艺阶段,Ge在沟槽中的生长及形貌演变,为客户工艺控制提供参照。 |
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