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地址：苏州工业园区独墅湖高教区若水路398号（区号：0512 邮编：215125）
电子显微镜实验室：
扫描电镜（62872632）透射电镜（62872633)
光电实验室：62872594 2593
扫描探针实验室：62872550
结构分析实验室：62872551
计算中心：62872616
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半导体材料生长工艺TEM追踪观察 |
【发稿时间】：2016/5/31 |
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| 客户利用“沟槽工艺”在Si上选择性外延生长了Ge, 通过多个TEM截面样品的追踪观察，揭示了不同工艺阶段，Ge在沟槽中的生长及形貌演变，为客户工艺控制提供参照。 |
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