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地址:苏州工业园区独墅湖高教区若水路398号(区号:0512 邮编:215125)
电子显微镜实验室:
扫描电镜(62872632)透射电镜(62872633)
光电实验室:62872594 2593
扫描探针实验室:62872550
结构分析实验室:62872551
计算中心:62872616
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PCM芯片截面结构剖析 |
【发稿时间】:2016/5/31 |
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利用STEM及HRTEM 表征技术,对某商用相变存储芯片(PCM)进行结构解剖,结合能谱分析,对该器件不同结构区域的材料组份进行判定(未在图中展示)。 |
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