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PCM芯片截面结构剖析

【发稿时间】:2016/5/31
利用STEM及HRTEM 表征技术,对某商用相变存储芯片(PCM)进行结构解剖,结合能谱分析,对该器件不同结构区域的材料组份进行判定(未在图中展示)。
 
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