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地址:苏州工业园区独墅湖高教区若水路398号(区号:0512 邮编:215125)
电子显微镜实验室:
扫描电镜(62872632)透射电镜(62872633)
光电实验室:62872594 2593
扫描探针实验室:62872550
结构分析实验室:62872551
计算中心:62872616
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半导体材料缺陷结构的衍射像 |
【发稿时间】:2016/5/31 |
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利用TEM “双束”或“弱束”衍射衬度像,对半导体材料中的层错,失配位错,穿透位错等缺陷进行成像,确认材料的缺陷密度及类型等特征。 |
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