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地址：苏州工业园区独墅湖高教区若水路398号（区号：0512 邮编：215125）
电子显微镜实验室：
扫描电镜（62872632）透射电镜（62872633)
光电实验室：62872594 2593
扫描探针实验室：62872550
结构分析实验室：62872551
计算中心：62872616
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半导体器件剖面载流子浓度分布 |
【发稿时间】：2016/5/31 |
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| 半导体器件剖面载流子浓度分布：扫描探针与透射电镜制样联合，利用电镜制样设备为国网智能电网研究院制备了碳化硅离子注入后材料的剖面样品，并利用SCM（扫描电容显微镜）方法为测试了碳化硅的离子注入样品剖面，获得了离子注入区域的空间分辨图像，取得了用户好评。该测试项目从制样、测试到分析都在平台实现，充分发挥了平台多设备的优势，扩展了服务能力。 |
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