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电子显微镜实验室：
扫描电镜（62872632）透射电镜（62872633)
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结构分析实验室：62872551
计算中心：62872616
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半导体材料的检测与分析 |
【发稿时间】：2016/6/14 |
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在共聚焦荧光显微镜上可以直观探测到，LED（LD）量子阱结构中的损伤、缺陷。
图a：观测某量子阱材料有源区发光均匀性，
该样品发光不均匀，有地方亮；有地方暗；
六边形暗斑为缺陷，V形坑（V-pits）。 图b：观测到不发光的暗斑为量子阱结构退化、热分解所引起的缺陷、阱层结构损坏。 |
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