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应力的检测与分析

【发稿时间】:2016/6/14
异质界面处,材料的应力状态有明显变化,应力状态的改变体现在拉曼峰位频移上。
 
图a:外延片与衬底交界处的图像
图b:外延薄膜与衬底的交界处,对某一拉曼光谱峰位进行拟合后得到该峰位的频移曲线,峰位的变化说明在交界处有剧烈的应力变化
 
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