中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所-测试分析平台
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M2000D型椭偏仪开放运行通知

【发稿时间】:2008/12/2
 

M2000D型椭偏仪开放运行通知

 

测试分析平台购置的J.A.Woollam公司M2000D型椭偏仪已经完成安装验收等相关工作,现投入运行,从即日起向所内外用户开放,欢迎大家使用。

 

一 仪器主要性能指标

1.    光谱有效范围:193-1690nm连续可调

2.    测角计入射角范围:手动角45-90 ˚,自动角40-90˚

3.    光谱分辨率:0.5 nm

4.    旋转补偿器机构,实现Δ在0360o范围内的准确测量

 

二 主要用途

1 各种功能材料的光学常数测量和光谱学特性分析,包括复折射率的实虚部、复介电常数的实虚部、吸收系数、反射率等指标;

2 测量单层膜和多层薄膜材料的结构、厚度、表界面粗糙度;

3 光学梯度薄膜的梯度特性及结构。

 

二、开放制度

1.预约方式

椭偏仪开放测试时间为每周一至周五,上午8:30-11:30,下午1:30-5:30

预约时需提供预约人联系方式(电话/Email)、所属课题组以及样品名称、结构、尺寸以及其他样品基本属性和测试项目,以便确定适当的实验方案和模型。

预约联系人:

邱永鑫 62872545  B608

       张敏   62872612  B623

2.测试方式:

a) 目前仪器操作主要由本实验室工作人员完成。今后用户经过培训确认合格后,可以在管理人员协助下完成实验操作。

b) 用户可使用设备配置的椭偏仪数据分析程序WVASE32对数据进行分析处理(因版权原因,仅限在本实验室计算机上使用)。

3. 本实验室对所有的登记内容、实验记录和数据信息保密。 

                                         测试分析平台

                                       2008 11月30

 
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