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深能级瞬态谱仪(DLTS)原理介绍及技术交流

【发稿时间】:2021/7/5

各位老师同学,大家好:
     我们非常高兴的邀请到SEMILAB中国区技术经理和业务经理来交流深能级瞬态谱(DLTS)的技术进展。深能级瞬态谱是半导体领域研究和检测半导体杂质、缺陷深能级、界面态等的重要技术手段。欢迎大家来交流谈论。

报告时间:星期三 7月7日)下午13:30                     
报告地点:测试分析平台 E306
报告主题Semilab深能级瞬态谱仪介绍及应用案例
嵇青胜 Semilab技术经理        孙文硕 Semilab客户经理
内容摘要1)Semilab深能级瞬态谱仪原理及功能介绍
(2)典型应用案例展示
(3)技术细节沟通
深能级瞬态谱仪(DLTS)介绍深能级瞬态谱(Deep Level Transient Spectroscopy)是半导体领域研究和检测半导体杂质、缺陷深能级、界面态等的重要技术手段. 根据半导体P-N结、金-半接触结构肖特基结的瞬态电容(△C~t)技术和深能级瞬态谱(DLTS)的发射率窗技术测量出的深能级瞬态谱,是一种具有很高检测灵敏度的实验方法,能检测半导体中微量杂质、缺陷的深能级及界面态。通过对样品的温度扫描,给出表征半导体禁带范围内的杂质、缺陷深能级及界面态随温度(即能量)分布的DLTS谱,集成多种全自动的测量模式及全面的数据分析,可以确定杂质的类型、含量以及随深度的分布。也可用于光伏太阳能电池领域中,分析少子寿命和转化效率衰减的关键性杂质元素和杂质元素的晶格占位,确定是何种掺杂元素和何种元素占位影响少子寿命。

 
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