仪器名称	测试项目	设备占用费 (元/小时)	备注
Quanta400FEG 热场扫描电镜	微观形貌	500	管理员上机操作与用户培训费：150元/小时。液氦CL按照样品个数和测试时间具体计算。 固定用户（仅限形貌、元素分析）为19000元/年（按每周1小时计算）
	能谱元素分析	600
	常温阴极荧光/电子束诱导感生电流	700
S-4800 冷场扫描电镜	微观形貌	500	管理员上机操作与用户培训费：150元/小时。 固定用户为19000元/年（按每周1小时计算）
Quanta250FEG环境扫描电镜	微观形貌	500	管理员上机操作与用户培训费：150元/小时。 固定用户（仅限形貌、元素分析）为19000元/年（按每周1小时计算）
	能谱元素分析	600
	环境扫描或低真空模式	700
TF20透射电镜	TEM测试	800	管理员上机操作与用户培训费：200元/小时； 辅助测试（客户自操作，管理员帮助测试不足半小时）：100元； TF20透射固定用户为29000元/年（按每周1小时计算） HT7700透射固定用户为17000元/年（按每周1小时计算）
	能谱测试	900
	STEM测试	1000
HT7700透射电镜	形貌像	500
	能谱	550
Talos透射电镜	TEM	1200
	STEM	1500
	能谱Mapping	2000
透射电镜制样	TEM截面样品：	1500-2500元/个	制样培训:100元/小时。
	切割、抛磨、减薄设备使用费	100
溅射镀膜仪	喷金	100元/次	每次喷镀厚度不超过15 nm。超过厚度按比例加收费用。
	喷铂或喷碳	150元/次
Ilion制样	Ilion制样	1000元/个	制样培训：150元/小时